NEXIV VMZ-K6555 - Hệ thống đo video đồng thời đa chức năng đột phá
Hệ thống thị giác đo lường nikon VMZ K6555 Nikon Confocal NEXIV VMZ-K6555 được phát triển dựa trên sức mạnh của công nghệ quang - cơ điện tử (quang học, cơ học và điện tử) hàng đầu của Nikon. Nó kết hợp nhiều loại quang học đồng tiêu để đánh giá nhanh chóng và chính xác các phép đo bề mặt ba chiều tốt, công nghệ xử lý hình ảnh và tự động lấy nét bằng laser TT L. Nó cho phép đo cả chiều cao và 2D trong cùng một trường nhìn.
Confocal NEXIV VMZ-K6555 được sử dụng để kiểm tra và đo lường các kích thước quan trọng của các cấu trúc rất phức tạp trên các thiết bị bán dẫn tiên tiến, thẻ thăm dò, các mẫu chất nền trên bảng mạch, MEMS và nhiều ứng dụng đòi hỏi khác.
Các lợi ích chính
Đo chiều cao diện rộng đồng thời với quang học đồng tiêu độc quyền của Nikon
Đo lường 2D với quang học zoom trường sáng 15x
Hoàn toàn tương thích với phép đo wafer 300 mm ở fabs bán dẫn
Xử lý kích thước bảng mạch in với hành trình 650 x 550mm
Các ứng dụng
Gói IC: Chip lật / COF (Bump) / COG, CSP (FBGA) / SIP (Bump, Wire), Interposer (Chiều cao tấm đệm)
MEMS
Thẻ thăm dò (Đầu dò Silicon, Đầu dò Au)
Các thành phần thủy tinh chính xác (Ống kính siêu nhỏ, Kính áp tròng)
Chiều rộng / Chiều cao của khoảng cách ảnh cho Bộ lọc màu cho Bảng điều khiển FPD
